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1、真空泵的極限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個數量級。

2、每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。

3、真空泵在其工作壓力下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

4、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響，若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

5、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

6、當選擇油封真空泵時，要考慮真空泵排出來的油蒸汽(油煙)對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，應該選無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。

7、選擇真空機組：當使用一種真空泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足工藝要求。