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檢漏方式多種多樣,本節主要介紹兩種高感度的檢漏方式。

1.殘留氣體分析法 殘留氣體分析使用四極濾質器。通過分析真空腔體內的殘留氣體,當某種特定的氣體量多的時候可知有漏氣。下圖是有檢測殘留氣體的例子。沒有漏氣時,質量14,28,32的峰值分別是CH2,CO,O2,如果有漏氣,則N,N2,O2會從大氣側流入,使相應的質量數峰值增加。

2.探測法 從外部用氦氣吹向被檢測部,然后由連接在真空腔體上的氦質譜檢漏儀來檢測侵入的氦氣,這種方式可檢測出極少的漏氣。

檢測氣體使用氦氣的原因如下：

1.氦氣在空氣中的存在量僅為5ppm,如果有漏氣容易查清原因。 2.因為是惰性氣體,在真空腔體內不容易吸附在腔體上,容易放出。 3.從腔體放出的氣體中幾乎不包含氦氣。 4.沒有毒性。